发明名称 一种多晶制绒高温碱清洗方法
摘要 本发明提供了一种多晶制绒高温碱清洗方法,所述方法采用高温碱溶液对酸制绒后的硅片进行碱清洗。本发明在高温碱清洗条件下能够彻底去除酸制绒所产生的多孔硅和比较尖锐的微结构,从而提升制绒后硅片的少子寿命,最终得到电池效率的提高。
申请公布号 CN103367118B 申请公布日期 2015.12.09
申请号 CN201310338043.6 申请日期 2013.08.06
申请人 中利腾晖光伏科技有限公司 发明人 张风雷;何伟;苗成祥;魏青竹;保罗
分类号 H01L21/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人 黄珩
主权项 一种多晶制绒高温碱清洗方法,其特征在于,所述方法采用高温碱溶液对酸制绒后的硅片进行碱清洗;所述高温碱清洗是经过酸制绒、去离子水初步清洗表面酸液后,再用高温碱溶液进行清洗的方法;所述高温碱溶液是浓度为2%‑8%的KOH或NaOH溶液;所述高温碱溶液是40℃‑55℃的碱溶液。
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