发明名称 |
微接触压印实现图形化ZnO纳米线阵列的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种采用微接触压印(MCP)和低温化学浴沉积(CBD)两步制备微米尺寸的、周期性图形的ZnO纳米线阵列的方法。该方法首先采用溶胶-凝胶法在导电玻璃上制备ZnO种子层薄膜,接着采用弹性的具有不同图案的聚二甲基硅氧烷(PDMS)印章将TiO<sub>2</sub>溶胶墨水转移到ZnO种子层薄膜上,获得图形化的TiO<sub>2</sub>遮挡层薄膜,然后采用化学浴沉积法在没被TiO<sub>2</sub>薄膜遮挡的ZnO种子层区域完成ZnO纳米线的选择生长。本发明的工艺简单、成本低廉、大面积制备、重复性好,整个工艺中最关键的三个技术:具有合适黏性的TiO<sub>2</sub>溶胶墨水的配制;PDMS印章的涂墨和压印工艺的压力参数设定;纳米线水热生长的时间控制。 |
申请公布号 |
CN104030238B |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201410260626.6 |
申请日期 |
2014.06.12 |
申请人 |
西安交通大学 |
发明人 |
汪敏强;邓建平 |
分类号 |
B82B3/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
B82B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
代理人 |
陆万寿 |
主权项 |
微接触压印实现图形化ZnO纳米线阵列的制备方法,其特征在于:1)ZnO种子层薄膜的制备:采用溶液化学法配制5mmol/L醋酸锌的乙醇溶液做为前躯体溶液,以ITO导电玻璃为基底,先利用匀胶机在旋转速度和旋转时间为2000rmp和30s下制备醋酸锌胶体薄膜,然后在300℃的马弗炉中对薄膜退火0.5‑1h得到ZnO种子层;2)TiO<sub>2</sub>溶胶墨水的制备:按体积份数取4份的钛酸四丁酯为钛源、16份的乙二醇甲醚为溶剂混合均匀后再加入2.5‑3份的二乙醇胺调整溶胶墨水的黏性得TiO<sub>2</sub>溶胶墨水;3)图形化ZnO种子层的制备:利用旋涂法在载玻片上旋涂TiO<sub>2</sub>溶胶墨水;接着利用微接触涂覆法将TiO<sub>2</sub>溶胶墨水从载玻片表面转移到PDMS印章表面;然后再利用微接触压印法将TiO<sub>2</sub>溶胶墨水从PDMS印章转移到ZnO种子层薄膜表面;最后图形化的ZnO/TiO<sub>2</sub>薄膜经过热处理获得图形化ZnO种子层;4)图形化ZnO纳米线阵列的合成:采用水浴法在浓度为1.8mol/L的NaOH与浓度为0.08mol/L的Zn(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>、或浓度为0.05mol/L的六次甲基四胺与浓度为0.05mol/L的Zn(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>的水溶液体系中选择性生长ZnO纳米线。 |
地址 |
710049 陕西省西安市咸宁西路28号 |