管控王水蚀刻能力的方法

摘要

本发明公开了一种管控王水蚀刻能力的方法，包括以下步骤：1）在载有透明导电膜的基板上使用保护层对透明导电膜进行部分覆盖，未被覆盖的部分构成蚀刻区，形成实验件；2）单位时间内使用给定浓度的王水对蚀刻区进行蚀刻；3）基于单位时间内蚀刻掉的蚀刻区厚度得出给定浓度的王水的蚀刻率；4）针对不同浓度的王水使用步骤1）-3），确定不同浓度条件下的王水的蚀刻率，生成王水浓度与蚀刻率的对应关系表；5）基于所述对应关系表，以蚀刻率为参数管控蚀刻工艺中的王水蚀刻能力。依据本发明减少了对蚀刻工艺环节的影响，且能够准确的掌控王水当前的蚀刻能力。

主权项

一种管控王水蚀刻能力的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）在载有透明导电膜的基板上使用保护层对透明导电膜进行部分覆盖，未被覆盖的部分构成蚀刻区，形成实验件；2）单位时间内使用给定浓度的王水对蚀刻区进行蚀刻；3）基于单位时间内蚀刻掉的蚀刻区厚度得出给定浓度的王水的蚀刻率；4）针对不同浓度的王水使用步骤1）‑3），确定不同浓度条件下的王水的蚀刻率，生成王水浓度与蚀刻率的对应关系表；5）基于所述对应关系表，以蚀刻率为参数管控蚀刻工艺中的王水蚀刻能力。