一种薄悬臂梁压阻式加速度计及其制造方法

摘要

本发明公开了一种薄悬臂梁压阻式加速度计，其包括玻璃、顶硅层、底硅层和氧化层；所述顶硅层设置在所述玻璃的上表面，所述顶硅层与所述玻璃之间通过阳极键合；所述顶硅层和所述底硅层之间设置有氧化层。本发明还公开了一种薄悬臂梁压阻式加速度计的制造方法。本发明提供的薄悬臂梁压阻式加速度计，解决了通过湿法腐蚀方式形成质量块与梁结构的方法，腐蚀后梁的厚度无法达到1um，厚度不能精确控制，采用电化学方式腐蚀会增加工艺步骤且会在工艺中带来污染的问题。本发明具有抗过载能力强，可靠性高，体积小的特点，并提高其灵敏度及频率响应。

主权项

一种薄悬臂梁压阻式加速度计，其特征在于，包括玻璃、顶硅层、底硅层和氧化层；所述顶硅层设置在所述玻璃的上表面，所述顶硅层与所述玻璃之间通过阳极键合；所述顶硅层和所述底硅层之间设置有氧化层。