一种场发射电子枪烘烤装置和一种电子枪室的烘烤方法

摘要

本发明公开一种场发射电子枪烘烤装置和一种电子枪室的烘烤方法，其中热源设置在电子枪室内部，优选的靠近相关零件设置，直接对零件热辐射，从而提高导热效率，使相关零件表面的气体分子充分逸出，这样在电子枪室处于工作状态时，电子枪室内的真空度将不会有明显降低；在现有技术方案中，由于电阻丝在加热过程中会释放气体，因此为了避免电阻丝释放气体导致电子枪室内的真空度下降，因此电阻丝只能够设置在电子枪室的外部，造成加热效率低，部分零件温升不足、部分零件过热的技术缺陷。而本发明的场发射电子枪烘烤装置恰恰克服了上述技术偏见，将热源设置在电子枪室内对零件进行烘烤，克服了现有技术采用加热带加热，热辐射效果不好的技术缺陷。

主权项

一种场发射电子枪烘烤装置，其特征在于：包括：电子枪室（10）；至少一个热源（20），设置在电子枪室（10）的内部；抽真空组件，连接所述电子枪室（10），和电子枪室（10）相连位置形成抽气口。