用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法及装置

摘要

一种用于在反应器中氢化氯硅烷的方法，其中将至少两种反应物气流彼此独立地引入至反应区中，其中引导包含四氯化硅的第一反应物气流通过第一热交换器单元，在所述第一热交换器单元中加热所述第一反应物气流，然后引导通过加热元件，在所述第一反应物气流到达所述反应区之前，所述第一热交换器单元将其加热至第一温度，以及其中将包含氢气的第二反应物气流通过第二热交换器单元加热至第二温度，其中所述第一温度大于所述第二温度，然后将所述第二反应物气流引入至所述反应区中，使得所述反应区中的两种反应物气体的混合温度在850°C至1300°C之间，并且反应所述反应物气流以产生包含三氯硅烷和氯化氢的产物气体，其中引导在反应中获得的所述产物气体通过所述至少两个热交换器单元，并通过对流原理预热所述反应的所述反应物气流，其中气流首先通过所述第一热交换器单元然后通过所述第二热交换器单元。一种用于氢化氯硅烷的反应器，包括两个气体入口装置，通过所述气体入口装置可以将反应物气体彼此独立地引入至所述反应器中，和至少一个气体出口装置，通过所述至少一个气体出口装置可以引导产物气流，至少两个热交换器单元，其彼此连接并且借助引导所述产物气体通过所述热交换器单元而适于彼此独立地加热反应物气体，以及加热区，其设置在第一热交换器单元和反应区之间，并且其中存在至少一个加热元件。

主权项

一种用于在反应器中氢化氯硅烷的方法，其中将至少两种反应物气流彼此独立地引入至反应区中，其中引导包含四氯化硅的第一反应物气流通过第一热交换器单元，在所述第一热交换器单元中加热所述第一反应物气流，然后引导通过加热元件，在所述第一反应物气流到达所述反应区之前，所述加热元件将其加热至第一温度，以及其中将包含氢气的第二反应物气流通过第二热交换器单元加热至第二温度，其中所述第一温度大于所述第二温度，然后将所述第二反应物气流引入至所述反应区中，使得所述反应区中的平均气体温度在850℃至1300℃之间，并且所述反应物气流反应以产生包含三氯硅烷和氯化氢的产物气体，其中引导在反应中获得的所述产物气体通过所述至少两个热交换器单元，并通过对流原理预热反应的所述反应物气流，其中反应物气流流过第一热交换器单元时，在所述第一热交换器单元中的所述反应物气流的压力比产物气流的压力高，并且其中所述产物气流首先通过所述第一热交换器单元然后通过所述第二热交换器单元。