一种金属陶瓷复合基板及其制备工艺

摘要

本发明涉及一种金属陶瓷复合基板及其制备工艺，包括陶瓷、玻璃和金属三相，所述陶瓷相和所述玻璃相均匀混合分布构成陶瓷基体；所述金属相为金属纤维熔融或半熔融后形成；所述金属相互相熔接在一起，在所述陶瓷基体内形成相互连接贯通的三维网络散热通道。制备工艺包括将陶瓷粉体、金属纤维和低温玻璃烧结助剂混合后再加溶剂、粘结剂、分散剂、增塑剂、消泡剂和成膜助剂，球磨混合均匀后真空脱泡，流延成型，再干燥与排胶，最后烧结。本发明在保持高热匹配性能的前提下，大大提高基板的散热能力，采用流延成型和低温烧结工艺，解决了压铸或压渗设备效率低、金属与陶瓷润湿困难、金属相在基板内连接不连续等问题。

主权项

一种金属陶瓷复合基板，包括陶瓷、玻璃和金属三相，其特征在于，所述陶瓷相和所述玻璃相均匀混合分布构成陶瓷基体；所述金属相为金属纤维熔融或半熔融后形成；所述金属相互相熔接在一起，在所述陶瓷基体内形成相互连接贯通的三维网络散热通道。