| 主权项 |
一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置，其特征在于，该多顶针剥离装置包括固定座(400)、双真空腔室(100)、多顶针机构(200)和凸轮旋转驱动机构(300)，其中：所述双真空腔室(100)由分设在内、外侧的真空内腔室(170)和真空外腔室(160)共同组成，它们沿着竖直方向同轴安装在所述固定座(400)上，并各自配置有气管接头(140，150)来为其提供真空环境同时实现内、外真空度的独立调控；此外，所述真空内腔室(170)还与电磁铁(130)可上下滑动地连接，由此当电磁铁通电时得以沿着竖直方向向下运动，而当电磁铁断电时在内腔室复位弹簧(120)的作用向上恢复原位；所述多顶针机构(200)由同轴安装且彼此独立操控的内圈顶针机构和外圈顶针机构共同组成，并且它们沿着竖直方向整体设置在所述真空内腔室(170)的下部；其中对于内圈顶针机构而言，它包括内圈顶针(221)、联接在该内圈顶针(221)下端的内支撑杆(222)、继续联接在该内支撑杆(222)下端的内圈从动子(212)；对于外圈顶针机构而言，它包括均匀分布在以所述内圈顶针(221)为中心的外圆上的多个外圈顶针(231)、联接在该外圈顶针(231)下端的外支撑杆(232)、以及继续联接在该外支撑杆(232)下端的外圈从动子(211)；此外，所述内圈从动子(212)和外圈从动子(211)沿着水平方向并列布置；所述凸轮旋转驱动机构(300)包括沿着水平方向依次布置的驱动电机(310)、固定凸轮(320)、滑动凸轮(330)和挡块(370)，其中该固定凸轮(320)与所述驱动电机(310)的水平输出轴固连以受其驱动，该滑动凸轮(330)继续同轴安装在所述固定凸轮(320)的凸轮轴上，它的左右两侧分别设有磁体(360)并且可相对于所述固定凸轮(320)发生轴向滑动；此外，所述固定凸轮(320)和滑动凸轮(330)的上端均与所述内圈从动子(212)和外圈从动子(211)的下端保持平齐；以此方式，当需要同时使用内、外圈顶针机构时，所述滑动凸轮(330)被拨动至远离所述驱动电机(310)一侧并借助其右侧的所述磁铁吸附于所述挡块(370)，由此与所述固定凸轮(320)分别接触所述内圈从动子(212)和外圈从动子(211)，并保持独立地各自驱动其向上运动；而当仅需要使用内圈顶针机构时，所述滑动凸轮(330)被拨动至靠近所述驱动电机(310)一侧并借助于左侧的所述磁铁吸附于所述固定凸轮(320)，由此连同此固定凸轮(320)一起接触所述内圈从动子(212)，并驱动其向上运动。 |
