多晶太阳能电池背部钝化工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池生产领域，具体是一种多晶太阳能电池背部钝化工艺。顺序进行酸制绒、硼扩散、背部钝化、刻蚀、第一次去PSG、磷扩散、激光刻槽、第二次去PSG、正面钝化、丝网印刷，在酸制绒过程使用添加剂，硼扩散过程，N2流量20slm，激光刻槽中开槽宽度为1.9毫米，采用双线200kHz的激光频率,5m/s的传送速度,32A电流,进行激光刻槽，刻蚀需要手动装卸片，电池正面向下，开启水膜，HF酸浓度为7%，滚轮速度为1m/min，刻蚀深度1.0-1.2um。本发明高效多晶效率可提升0.6%以上，达到预期目的，组件封装损耗为0.5%左右，符合损耗要求。

主权项

多晶太阳能电池背部钝化工艺，其特征在于：顺序进行酸制绒、硼扩散、背部钝化、刻蚀、第一次去PSG、磷扩散、激光刻槽、第二次去PSG、正面钝化、丝网印刷，在酸制绒过程使用添加剂，硼扩散过程，N2流量20slm，激光刻槽中开槽宽度为1.9毫米，采用双线200kHz的激光频率, 5 m/s的传送速度, 32A电流,进行激光刻槽，刻蚀需要手动装卸片，电池正面向下，开启水膜，HF酸浓度为7%，滚轮速度为1m/min，刻蚀深度1.0‑1.2um。