发明名称 Procedimiento y dispositivo para el revestimiento en continuo de sustratos
摘要 Procedimiento para el revestimiento en continuo de sustratos, en el que en un dispositivo de revestimiento los sustratos son transportados a través de un espacio de deposición (4) que está limitado por dos soportes de sustrato (1, 1') así como por un suelo (2) y una tapa (6), en donde el suelo (2) presenta un dispositivo (3) para guiar los soportes de sustrato (1, 1'), y los sustratos son transportados sobre los soportes de sustrato (1, 1') a través del dispositivo de revestimiento, durante el transporte se realiza el revestimiento en continuo de los sustratos, y en donde la tapa (6) está fijada a los soportes de sustrato (1, 1') y de esta manera se transporta junto con los soportes (1, 1') de sustrato mediante el dispositivo de revestimiento.
申请公布号 ES2553450(T3) 申请公布日期 2015.12.09
申请号 ES20120746037T 申请日期 2012.07.09
申请人 Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 发明人 REBER, Stefan;SCHILLINGER, Norbert;POCZA, David;ARNOLD, Martin
分类号 C23C16/44;C23C16/458;C23C16/54;H01L31/18 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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