| 摘要 |
<p>본 발명은 제조공정 중 고온처리를 줄일 수 있는 정전척 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 정전척은 기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서, 하면에 전극이 인쇄된 상부 유전체와; 상기 상부 유전체의 하면에 형성되어 상기 전극을 덮어서 절연시키는 절연피막층과; 400℃이하에서 경화되는 유전재료를 포함하여 형성되고, 상면이 상기 절연피막층의 하면에 접합되는 하부 유전층과; 상면이 본딩층을 매개로 상기 하부 유전층의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함한다.</p> |
