| 发明名称 |
IMAGING SYSTEM |
| 摘要 |
<p>본 발명은 가간섭성이 높은 전자파의 빔을 소정의 조명 영역으로 확대하고 조명을 위해 사용한 상태에서 소정의 조명 영역을 조명 영역보다 좁은 이동 범위 내에서 이동시킴으로써 간섭 패턴의 발생을 줄일 수 있는 이미징 시스템을 제공한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150137097(A) |
申请公布日期 |
2015.12.08 |
| 申请号 |
KR20157030976 |
申请日期 |
2014.03.19 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
ISHI TSUTOMU;SUDOU TAKAYUKI;TSUBOI TAKU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/3581;G01N33/02;G06T7/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
