| 摘要 |
<p>본 발명은, 연삭 휠의 대형화를 억제할 수 있는 연삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 직사각형 기판의 표면 또는 이면을 연삭하는 연삭 장치로서, 직사각형 기판을 흡인 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 직사각형 기판을 연삭하는 연삭 휠을 회전 가능하게 지지하는 연삭 수단과, 상기 연삭 수단을 상기 척 테이블의 유지면에 대하여 수직 방향으로 연삭 이송하는 연삭 이송 수단을 구비하고, 상기 연삭 휠은, 휠 베이스와, 상기 휠 베이스의 하면 외주부에 환상으로 배치된 연삭 지석을 포함하며, 상기 환상으로 배치된 연삭 지석의 외경은 상기 직사각형 기판의 대각선의 1/2에 근사하고 1/2보다 조금 크게 설정되고, 상기 척 테이블에 유지된 직사각형 기판의 회전 중심 및 모서리부를 상기 연삭 지석이 통과하도록 상기 연삭 휠을 위치시켜, 상기 척 테이블을 회전시키고, 상기 연삭 휠을 회전시켜 직사각형 기판의 표면 또는 이면을 연삭하는 것을 특징으로 한다.</p> |
