| 摘要 |
화학 기상 증착 디바이스용 피드스루 장치가 개시된다. 피드스루 장치는 i) 피드스루 메인 본체, ii) 복수의 러너 유닛, 및 iii) 복수의 러너 유닛에 대해 회전 가능한 피드스루 디바이스를 포함한다. 러너 유닛은 피드스루 메인 본체 내에 제공되고, 각각의 러너 유닛은 유체를 수용하기 위한 유체 입구와, 유체 입구로부터 유체를 수용하기 위해 유체 입구와 유체 소통하는 세장형 러너를 포함하고, 세장형 러너는 러너 유닛의 표면 상에 나선형으로 연장한다. 피드스루 디바이스는 복수의 피드스루 디바이스 유체 채널을 포함하고, 이 피드스루 디바이스 유체 채널은 대응 세장형 러너로부터 유체를 수용하기 위한 피드스루 디바이스 유체 이송 오리피스 및 반응기 챔버 내로 유체를 방출하기 위한 피드스루 디바이스 유체 출구 오리피스를 포함한다. 특히, 각각의 피드스루 디바이스 유체 이송 오리피스는 대응 세장형 러너로부터 유체를 수용하기 위해 피드스루 디바이스의 회전 중에 대응 세장형 러너와 유체 소통하고, 각각의 피드스루 디바이스 유체 출구 오리피스는 반응기 챔버 내로 유체를 방출하기 위해 제공된다. |
