| 摘要 |
피검사체의 배선의 전기용량이 작은 경우에도, 전기용량의 측정에 의해 피검사체의 검사를 실시할 수 있는 검사장치 및 검사방법을 제공한다. 검사장치(1)는 절연성 재료로 이루어진 기판(2)과, 기판(2)의 표면으로부터 일부가 노출되어 접속부를 구성하도록 기판(2) 중에 설치된 전기용량전극(3)과, 기판(2) 중에 설치된 공통전극(4)을 갖는다. 전기용량전극(3) 및 공통전극(4)은 서로 평행이 되는 부분을 갖고 이격 배치되어 전기적으로 절연되도록 구성된다. 검사장치(1)는 기체(102)와 이를 관통하는 배선(103)을 갖는 피검사체의 배선기판(101)에 조합되어, 배선(103)의 한쪽 단부와 전기용량전극(3)의 접속부를 접속한 후, 배선(103) 중 다른 한쪽 단부와 공통전극(4) 사이의 전기용량을 측정하여 배선기판(101)을 검사한다. |
