| 摘要 |
<p>본발명은 적어도 전류가 공급되는 전극과 저항가열에 의한 발열부가 구비되고, 쵸크랄스키법으로 단결정을 제조할 때 사용되는 실리콘융액을 수용하는 도가니를 포위하도록 배치되는 흑연히터의 상부에 배치되는 상부히터로, 발열부는 링형상으로 도가니를 포위하도록 배치되며, 발열부의 내측 및 외측에서 각각 수평방향으로 슬릿이 형성된 것임을 특징으로 하는 단결정 제조용 상부히터이다. 이에 의해 단결정의 결정결함을 효율적으로 제어할 수 있는 단결정 제조용 상부히터 및 이 단결정 제조용 상부히터를 사용하여 결정결함을 효율적으로 제어하고 또한 산소농도의 제어성을 향상시켜 고품질 단결정을 제조하는 단결정 제조장치 및 단결정 제조방법이 제공된다.</p> |
