| 摘要 |
기판 이송 암용 드라이브 영역은 프레임, 상기 프레임 내에 탑재되며, 제 1 모터 영역 및 적어도 하나의 고정자 베어링 영역을 포함하는 적어도 하나의 고정자, 및 접촉 없이, 상기 적어도 하나의 고정자 베어링 영역에 의해 실질적으로 자기 지지되는 동축 스핀들을 포함하고, 상기 동축 스핀들의 각 드라이브 샤프트는 회전자를 포함하며, 상기 회전자는 제 2 모터 영역 및 상기 적어도 하나의 고정자 베어링 영역과 연계되도록 구성된 적어도 하나의 회전자 베어링 영역을 포함하고, 상기 제 1 모터 영역은 소정의 축에 대한 상기 스핀들의 회전에 영향을 미치기 위해 상기 제 2 모터 영역과 연계되도록 구성되며, 상기 적어도 하나의 고정자 베어링 영역은, 상기 적어도 하나의 회전자 베어링 영역과의 상호작용을 통해 상기 동축 스핀들과 연결된 기판 이송 암 단부 이펙터의 레벨링(leveling)에 적어도 영향을 미치도록 구성된다. |
