| 摘要 |
기판을 소망하는 온도로 조정할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다. 프로버(10)는, 반도체 디바이스가 형성된 웨이퍼 W를 탑재하는 스테이지(11)와, 탑재된 웨이퍼 W의 반도체 디바이스의 전기적 특성을 검사하는 테스트 헤드(14)와, 스테이지(11)의 온도를 조정하는 온도 조정 시스템(25)과, 스테이지(11)를 통과하는 온도 조정 유로(28)를 구비하며, 온도 조정 시스템(25)은, 고온 매체를 온도 조정 유로(28)에 공급하는 고온 칠러(26)와, 저온 매체를 온도 조정 유로(28)에 공급하는 저온 칠러(27)와, 온도 조정 유로(28)에 공급되는 고온 매체 및 저온 매체를 혼합하는 혼합 밸브 유닛(29)을 갖는다. |
