| 摘要 |
光ビームの光路に沿って順に、照射モジュール（１０）、干渉モジュール（２０）及び検出モジュール（３０）を備える軸外アライメントシステムである。前記干渉モジュール（２０）は、四つの側面を有する偏光ビームスプリッター（２１）と、前記偏光ビームスプリッター（２１）の第１の側に対して逆側の第２の側に順に配置された第１の１／４波長板（２２）及び第１の反射体（２３）と、前記偏光ビームスプリッター（２１）の第３の側に順に配置された第２の１／４波長板（２４）及びキューブコーナープリズム（２５）と、前記偏光ビームスプリッター（２１）の第４の側に順に配置された第３の１／４波長板（２６）、第２の反射体（２７）及びレンズ（２８）と、を備える。前記照射モジュール（１０）及び前記検出モジュール（３０）は、前記偏光ビームスプリッター（２１）の第１の側に配置されている。前記第２の反射体（２７）は、前記レンズ（２８）の後焦点面に配置されている。前記キューブコーナープリズム（２５）の底面は、前記レンズ（２８）の光軸上に位置する。軸外アライメント方法も開示されている。【選択図】図１ |
