| 摘要 |
본 발명은, 시료수중의 미립자를 측정하는 계측부에 의한 측정결과에 이상이 인정된 상황에 있어서도, 적시에 시료수중의 미립자를 포착할 수 있는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다. 시료수중의 미립자를 측정하는 계측부와, 상기 시료수를 여과하고 상기 미립자를 직접검경법에 의한 분석용으로 포착하는 여과부를 함께 가동시켜 두고, 상기 계측부의 측정결과에 이상이 인정되는 경우에도 계속하여 상기 시료수를 여과하는 공정을 실시하는 미립자 측정방법을 제공한다. |
