| 摘要 |
<p>프로브 스테이션의 마이크로 포지셔너 장치가 개시된다. 본 고안에 따른 마이크로 포지셔너 장치는, 수평 및 수직 위치를 조절하는 위치조절나사가 구비되는 고정유닛(120); 상기 고정유닛(120)의 일측과 축으로 결합되어 회전되는 제1회전부재(140); 상기 제1회전부재(140)의 측면에 나사결합되며 일단부가 상기 축에 밀착되어 고정시키는 제1고정나사(150); 상기 제1회전부재(140)의 전면에 형성되며 상부에 힌지편(162)이 형성된 회동블럭(160); 상기 회동블럭(160)의 힌지편(162)과 핀으로 힌지 결합되며 회전되는 힌지끼움편(172)이 일측에 형성되고, 타측에는 탐침이 부착되는 제2회전부재(170);을 포함하여 이루어진다. 이에 따르면, 하나의 장비에서 프로브카드에 대한 싱글 사이드 테스트와 더블 사이드 테스트가 가능하게 되고, 더블 사이드 테스트의 편리성을 위해 수직되게 세워지 프로브카드에 대한 검사 위치를 정확하게 설정할 수 있어 정밀도가 향상될 수 있는 효과가 있다.</p> |
