| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는 수광 감도를 향상시킬 수 있는 고체 촬상 장치 및 고체 촬상 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 하나의 실시 형태에 따르면, 고체 촬상 장치가 제공된다. 고체 촬상 장치는 반도체층과, 반사판과, 소자 분리 영역을 구비한다. 반도체층에는 복수의 광전 변환 소자가 2차원 어레이 형상으로 배열된다. 반사판은 반도체층에 있어서의 광이 입사하는 면과는 반대의 면측을 덮어 광을 반사한다. 소자 분리 영역은 광전 변환 소자마다 반도체층을 구획하도록, 반도체층의 광이 입사하는 면으로부터 반사판에 도달하는 깊이까지 형성되어, 광전 변환 소자끼리를 전기적으로 소자 분리함과 함께 광의 반사면을 갖는다.</p> |
