| 摘要 |
<p>제1 유지 수단에 의해 하면 주연부가 지지된 상태로 유지되는 판형상 피반송물을, 제1 유지 수단의 상방에서 판형상 피반송물의 상면을 흡착 유지하는 제2 유지 수단에 양호하게 수도한다. 제2 유지 수단에 대해 상하 방향으로 관통해서 설치되는 제1 관통구멍으로부터 제1 흡착 부재를 하강시켜 제1 유지 수단에 의해 유지된 판형상 피반송물의 상면의 제1 흡착 위치를 흡착 유지하는 제1 흡착 공정과, 제2 유지 수단에 대해 제1 관통구멍과 상이한 위치에서 상하 방향으로 관통해서 설치되는 제2 관통구멍으로부터 제2 흡착 부재를 하강시켜, 판형상 피반송물의 상면 중 제1 흡착 위치와 상이한 제2 흡착 위치를 흡착 유지하는 제2 흡착 공정과, 판형상 피반송물을 유지한 제1 흡착 부재 및 제2 흡착 부재를 끌어올리고, 각각 제1 관통구멍 내 및 제2 관통구멍 내로 후퇴시켜 판형상 피반송물을 제1 유지 수단으로부터 제2 유지 수단으로 이동시키는 이동 공정을 구비하고 있다.</p> |
