| 摘要 |
본 발명의 과제는 소자를 효율적으로 제조하는 소자 제조 방법 및 소자 제조 장치를 제공하는 것이다. 먼저, 기재(41)와, 기재(41)의 법선 방향으로 연장되는 돌기부(44)를 포함하는 중간 제품(50)을 형성한다. 이어서, 중간 제품(50)을 돌기부(44)의 측으로부터 덮개재(21c)의 제1면(21d)을 사용해서 덮는다. 그 후, 제1면(21d)의 반대측에 있는 덮개재(21c)의 제2면(21e)측에 형성되어 있는 밀폐 공간(28)에 기체를 주입해서 밀폐 공간(28)의 압력을 높임으로써, 덮개재(21c)의 제1면(21d)을 중간 제품(50)에 밀착시킨다. |
