| 摘要 |
<p>본 발명은 태양전지의 효율을 향상시킬 수 있는 박막형 태양전지, 및 그의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것으로, 박막형 태양전지의 제조 방법은 기판 상에 전면전극을 형성하는 공정; 상기 전면전극의 소정 영역을 제거하여 전극 분리부를 형성하는 공정; 상기 전면전극과 상기 전극 분리부를 포함하는 기판 전면에 반도체층을 형성하는 공정; 상기 전면전극 상에 형성된 상기 반도체층의 소정 영역을 제거하여 콘택부를 형성하는 공정; 상기 반도체층과 상기 콘택부를 포함하는 기판 전면에 투명도전층을 형성하는 공정; 상기 투명도전층 상에 확산방지층을 형성하는 공정; 및 화학기상증착(CVD) 공정을 이용하여 상기 확산방지층 상에 후면전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |
