| 摘要 |
Linearbewegungseinheit mit Doppelführungssäulen, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Führungsabschnitt und einen Antriebsabschnitt aufweist; wobei der Führungsabschnitt zwei parallel geschaltete Linearlager aufweist, und wobei die beiden Linearlager jeweils durch eine Hülse gehen, und wobei die Hülse am Substrat montiert ist, und wobei die beiden Enden der beiden Linearlager jeweils über eine Verbindungsplatte verbunden sind; und wobei der Antriebsabschnitt eine über synchronen Riemen durch den Servomotor angetriebene Mutterrotations-Kugelumlaufspindel und einen Muttersitz aufweist, und wobei der Muttersitz auch am Substrat montiert ist, und wobei die beiden Enden der Mutterrotations-Kugelumlaufspindel über eine feste Mutter auch mit der Verbindungsplatte verbunden sind; und wobei am Substrat weiter ein Näherungssensor und seine Halterung montiert sind; und wobei an dem Substrat und der Verbindungsplatte jeweils ein Schraubenloch vorgesehen ist. |
