| 摘要 |
스퍼티링 장치(1)는 진공챔버(2)와, 복수의 타겟(8: 8a~8d)과, 성막하는 타겟(8c)만을 선택적으로 상기 진공챔버(2) 내에 노출시키기 위한 차폐체(9)와, 상기 타겟(8c)으로부터 튀어나온 미립자가 성막되는 기판(10)을 유지하는 기판유지유닛(11)과, 상기 기판유지유닛(11)을 고정 유지하여 이동시키는 제 1 이동유닛(14)과, 상기 타겟(8c)과 상기 기판(10) 사이에 배치된 마스크(16)와, 상기 마스크(16)를 이동시키는 제 2 이동유닛(19)과, 상기 마스크(16)를 관통하는 패턴화된 관통구멍(17)으로 이루어진 복수의 관통구멍유닛(17a~17f)을 구비하고 있다. |
