HYDROFLUOROOLEFIN ETCHING GAS MIXTURES

摘要

본 발명은 CVD 챔버에서 표면 증착물을 제거하는데 유용한 하이드로플루오르올레핀 조성물에 관한 것이며, 가스 혼합물이 하이드로플루오르올레핀을 포함하는, 챔버 내 또는 원격 챔버 내에서 가스 혼합물을 활성화시킴으로써 생성된 활성화된 가스 혼합물을 이용하여 화학 기상 증착 챔버의 내부로부터 표면 증착물을 제거하는 방법에 관한 것이다.