切り替えモードイオンエネルギー分布シシテムを較正するためのシステムおよび方法

摘要

バイアス源およびプラズマ処理チャンバを較正するとともに、イオンエネルギーおよびイオンエネルギー分布を調整するためのシステム、方法、および装置が開示される。例示的方法は、プラズマ負荷および静電チャック等の関連電子機器の電気的特性を模倣する負荷エミュレータに周期的電圧関数を適用することを含む。負荷エミュレータは、種々の電気パラメータについて測定され、バイアス源によって生成される期待パラメータと比較されることができる。測定値と期待値との間の差は、バイアス供給部、チャンバ、またはプラズマを点火して持続するために使用される電源の故障および異常を識別して補正するために使用されることができる。バイアス供給部が較正されると、基板支持部および随意に基板の直列および並列容量を含む、有効容量を測定および計算することによって、チャンバが較正されることができる。