| 摘要 |
<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumprozessieranlage (100) Folgendes aufweisen: eine erste Schleusenkammeranordnung (101) zum Einschleusen von Substraten in eine Prozesskammeranordnung (103) hinein; eine zweite Schleusenkammeranordnung (105) zum Ausschleusen prozessierter Substrate aus einer Prozesskammeranordnung (103) heraus; eine zwischen die erste Schleusenkammeranordnungen (101) und die zweite Schleusenkammeranordnungen (105) gekoppelte Prozesskammeranordnung (103) mit einer Vielzahl von Prozesskammern (302) zum Prozessieren der eingeschleusten Substrate; ein Vorvakuum-Versorgungs-Rohr (304) zum Versorgen der Vielzahl von Prozesskammern (302) mit einem Vorvakuum, wobei sich das Vorvakuum-Versorgungs-Rohr (304) entlang der Prozesskammeranordnung (103) erstreckt; wobei jede Prozesskammer (302) der Vielzahl von Prozesskammern (302) mittels eines separaten Anschlussrohrs (306) direkt mit dem Vorvakuum-Versorgungs-Rohr (304) verbunden ist.</p> |
