<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammeranordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammer (102) zum Prozessieren eines Substrats (120) innerhalb der Prozesskammer (102); einen optisch transparenten Bereich (106) in einer Kammerwand (102w) der Prozesskammer (102); eine außerhalb der Prozesskammer (102) angeordnete optische Sensoranordnung (108), wobei der optisch transparente Bereich (106) und die optische Sensoranordnung (106) zum Erfassen einer Position eines Substrats (120) innerhalb der Prozesskammer (102) eingerichtet sind.</p>
申请公布号
DE102014107638(A1)
申请公布日期
2015.12.03
申请号
DE201410107638
申请日期
2014.05.30
申请人
VON ARDENNE GMBH
发明人
DSAAK, TORSTEM;KRAUSE, JOCHEN;HOFMANN, MICHAEL;SMOLKE, MATTHIAS, DR.;BRENDLER, RONALD
