| 摘要 |
Ein Vibrationselement, das eine Membran, eine Schwingspule und eine Versteifungsschicht enthält, wird bereitgestellt. Die Membran hat eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche, die einander gegenüberliegen. Die erste Oberfläche enthält eine erste leitfähige Region und eine zweite leitfähige Region. Die Schwingspule ist an der ersten Oberfläche der Membran angeordnet. Zwei Enden der Schwingspule sind elektrisch mit der ersten leitfähigen Region und der zweiten leitfähigen Region verbunden. Die Versteifungsschicht ist an der Membran angeordnet. Die Membran hat eine Mittelregion, die von der Schwingspule umkreist und eingeschlossen ist und einen Bereich der Membran oberhalb der Schwingspule enthält. Der Bereich außerhalb der Mittelregion enthält eine innere eingekreiste Zone und eine äußere eingekreiste Zone, die die innere eingekreiste Zone umgibt. Wenigstens ein Ende der Schwingspule befindet sich in der inneren eingekreisten Zone und die Versteifungsschicht bedeckt die innere eingekreiste Zone. |
