Speicherbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Ein Bauelement umfasst: einen Nanodraht über einem Substrat, wobei der Nanodraht eine erste Drain/Source-Region über dem Substrat, eine Kanalregion über der ersten Drain/Source-Region und eine zweite Drain/Source-Region über der Kanalregion umfasst; eine Dielektrikumschicht mit hohem k-Wert und eine Steuer-Gate-Schicht, die einen unteren Abschnitt der Kanalregion umgeben; und eine Tunnelungsschicht und eine ringförmige Floating-Gate-Schicht, die einen oberen Abschnitt der Kanalregion umgeben.