Solarzelle

摘要

Ein Halbleitersubstrat von irgendeinem eines ersten Leitfähigkeitstyps und eines zweiten Leitfähigkeitstyps umfasst eine erste Hauptfläche und eine zweite Hauptfläche. Eine erste Halbleiterschicht des ersten Leitfähigkeitstyps ist auf der ersten Hauptfläche vorgesehen. Eine zweite Halbleiterschicht des zweiten Leitfähigkeitstyps ist auf der ersten Hauptfläche ausgebildet. Eine erste Elektrode ist elektrisch mit der ersten Halbleiterschicht verbunden. Eine zweite Elektrode ist elektrisch mit der zweiten Halbleiterschicht verbunden. Eine Isolierschicht umfasst Siliziumnitrid und ist zwischen der ersten Halbleiterschicht und der zweiten Halbleiterschicht in einem Überlappungsbereich vorgesehen, in dem die zweite Halbleiterschicht oberhalb der ersten Halbleiterschicht vorgesehen ist. Ein Anti-Diffusionsfilm ist zwischen der Isolierschicht und der ersten Halbleiterschicht angeordnet und ist ausgebildet, um zu verhindern, dass Stickstoff von der Isolierschicht in die erste Halbleiterschicht diffundiert.