| 摘要 |
<p>본 발명은, 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 공정 챔버에서 배출되는 배기가스를 분해하도록 공정챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 배기가스가 유동하는 도관; 상기 도관 상에 설치되는 제1 전극부; 상기 제1 전극부와 이격되어 배치되며, 상기 제1 전극부와 플라즈마 방전을 일으켜서 상기 배기가스를 분해하는 제2 전극부; 상기 도관을 감싸며, 상기 도관의 외주면과의 사이에 이격 공간이 형성되는 하우징; 상기 도관 또는 상기 이격 공간의 환경 조건을 감지하는 감지수단; 및 상기 감지수단으로부터 수신된 상기 환경 조건의 정보로부터 상기 도관 또는 상기 이격 공간의 상태를 판단하는 제어부를 포함한다.</p> |
