| 摘要 |
<p>본 발명은 기판을 이송하는 로봇 암에 결합된 블레이드 상에 기판이 정상적으로 안착되었는지 여부를 확인하기 위한 장치와 이를 이용한 기판 처리 장치에 관한 것이다. 기판 감지 장치는, 이송 챔버 내부에서 복수의 블레이드가 각각 기판을 상하로 이격하여 지지한 상태로 기판을 출입시키는 이송 로봇과, 복수의 블레이드 상에 위치한 서로 다른 기판의 외곽부를 개별적으로 감지하는 복수의 감지부로 이루어진다. 그리고 기판 처리 장치는 상술한 기판 감지 장치의 복수의 감지부를 이송 챔버와 다른 장치 사이의 기판 출입구에 구비한다. 이로부터 하나의 로봇 암에 복수의 블레이드를 구비하더라도 기판을 안정적으로 감지함에 따라 기판 이송 효율을 제고할 수 있다.</p> |
