| 摘要 |
<p>本発明は、光ビームの光源；集光レンズ（５）；少なくとも１つのマイクロレンズアレイ（Ｌ３、Ｌ４）を含む光均一化系（４）であって、光均一化系の像焦点面が集光レンズの物体焦点面内に位置決めされるように、集光レンズ（５）から上流に配置されている光均一化系；光均一化系の物体焦点面内に配置されたシャッター（３）であって、光均一化系が２つのマイクロレンズアレイ（Ｌ３、Ｌ４）を含み、マイクロレンズの間隔ならびに配置および向きは、光軸に直角の２つの方向（Ｘ、Ｙ）において、光均一化系が合併像焦点面および合併物体焦点面を有するように、設計されているシャッターを含む、フォトリソグラフィック照明装置に関する。本発明は、同様に、そのような照明器を含むフォトリソグラフィック装置に関する。</p> |
