Plasmonisches Bauteil und plasmonischer Photodetektor sowie deren Herstellungsverfahren

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft plasmonische Bauteile, insbesondere plasmonische Wellenleiter, sowie plasmonische Photodetektoren, welche auf dem Gebiet der Mikro- und Nanooptik eingesetzt werden können, insbesondere in der hochintegrierten optischen Kommunikationstechnik im Infrarotbereich (IR-Bereich) als auch in der Energietechnik, z. B. der Pholtovoltaik im sichtbaren Bereich. Zusätzlich gibt die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines plasmonischen Bauteils an, insbesondere zur Photodetektion auf Grundlage einer internen Photoemission.