提高热交换效率的装置

摘要

本发明公开了一种提高热交换效率的装置，应用于电镀机台原液腔与冰机的热交换工艺中，于原液腔内部设置一热交换装置；原液腔通过交换装置与冰机进行热交换工艺；热交换装置包括热交换管道，且该热交换管道的一端开口与冰机的进液口密封连接，该热交换管道的另一端口与冰机的出液口密封连接；通过在电镀机台的原液腔中的设置有螺旋结构的热交换管道，致使原液腔内的铜液与热交换装置的接触面积增大，从而达到更有效的控制原液腔内的温度，减少晶圆在电镀生产过程中产生的铜缺陷的目的，进而改善和提高产品的品质，且不影响生产进度，同时方法简单，成本低廉。

主权项

一种提高热交换效率的装置,应用于电镀机台原液腔与冰机的热交换工艺中，其特征在于，于所述原液腔内部设置一热交换装置；所述原液腔通过所述热交换装置与所述冰机进行热交换工艺；所述热交换装置包括热交换管道，且该热交换管道的一端开口通过一连接管道与所述冰机的进液口密封连接，该热交换管道的另一端口通过另一连接管道与所述冰机的出液口密封连接；所述热交换管道至少包括第一热交换管道和第二热交换管道；所述热交换装置还包括一隔板式热交换器；所述隔板式热交换器至少包含有第一通孔和第二通孔；所述第一热交换管道的一端开口与所述隔板式热交换器的第一通孔密封连接；所述第二热交换管道的一端开口与所述隔板式热交换器的第二通孔密封连接；所述第一热交换管道或所述第二热交换管道的另一端口通过一连接管道与所述冰机的进液口密封连接；所述第二热交换管道或所述第一热交换管道的另一端口通过一连接管道与所述冰机的出液口密封连接。