发明名称 八元氧环沸石膜、沸石膜的制造方法、以及八元氧环沸石膜的评价方法
摘要 提供可制造缺陷少的沸石膜的沸石膜制造方法、缺陷少的八元氧环沸石膜、以及可以评价缺陷的八元氧环沸石膜的评价方法。在多孔体的表面附着沸石晶种前,作为前处理,将多孔体在氧存在下进行400℃以上的加热处理,加热处理后在湿度30%以上的环境下保存12小时以上,然后,使沸石晶种附着于多孔体,制造沸石膜。将多孔体加热处理而制造的八元氧环沸石膜,其CF<sub>4</sub>的透过速度除以CO<sub>2</sub>的透过速度得到的值在0.015以下,缺陷较少。
申请公布号 CN105121346A 申请公布日期 2015.12.02
申请号 CN201480019436.3 申请日期 2014.03.28
申请人 日本碍子株式会社 发明人 谷岛健二;萩尾健史;宫原诚;内川哲哉;犬饲直子;市川真纪子
分类号 C01B39/48(2006.01)I;B01D69/10(2006.01)I;B01D69/12(2006.01)I;B01D71/02(2006.01)I 主分类号 C01B39/48(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 李晓
主权项 一种八元氧环沸石膜,其CF<sub>4</sub>的透过速度除以CO<sub>2</sub>的透过速度得到的值在0.015以下。
地址 日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号