发明名称 |
纳米级等离子体激元场效应调制器 |
摘要 |
等离子体激元器件具有透明导电氧化物(TCO)波导和施加在TCO和金属层之间的用于调制输入光信号的可调整电压。等离子体激元器件包括:衬底;在衬底上的并具有开槽通道的金属层;在金属层上和开槽通道中的介电层;以及在介电层上和开槽通道中的透明导电氧化物(TCO)。 |
申请公布号 |
CN105122106A |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
申请号 |
CN201480019856.1 |
申请日期 |
2014.04.04 |
申请人 |
加州理工学院 |
发明人 |
赫·伟·李;斯坦利·布尔戈斯;乔治亚·帕帕扎基斯;H·A·阿特沃特 |
分类号 |
G02B6/122(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/122(2006.01)I |
代理机构 |
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 |
代理人 |
苏蕾;郑霞 |
主权项 |
一种光调制器,包括:衬底;在所述衬底上的金属层,所述金属层具有开槽通道;在所述金属层上和所述开槽通道中的介电层;在所述介电层上和所述开槽通道中的透明导电氧化物TCO;以及施加在所述TCO和所述金属层之间的可调整电压。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |