发明名称 |
一种晶棒滚磨前对中装置 |
摘要 |
一种晶棒滚磨前对中装置,包括下定位机构、卡紧晶棒的中间卡盘机构、上定位机构和立柱,立柱下端固定在下定位机构的一侧,上定位机构通过吸盘底座与立柱的上部固定连接,立柱的中部滑动套设有滑套和控制滑套在立柱上滑动的滑套刹车组件,中间卡盘机构通过卡盘固定板与滑套固定。本实用新型通过中间卡盘机构卡紧晶棒,然后使用上定位机构和下定位机构对晶棒进行定位,并将定心对中块粘接在晶棒的两端,解决了晶棒定心并粘接对中块对操作员工经验技术要求高的问题,并有效避免了由于员工主观失误造成的晶棒与对中块的不良对中问题,大大提高了产品生产效率,保证了产品加工质量和品质,降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN204819163U |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
申请号 |
CN201520609220.4 |
申请日期 |
2015.08.14 |
申请人 |
麦斯克电子材料有限公司 |
发明人 |
司鹏辉;韩子萌;彭套;王松涛;孙金召 |
分类号 |
B24B49/00(2012.01)I |
主分类号 |
B24B49/00(2012.01)I |
代理机构 |
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 |
代理人 |
罗民健 |
主权项 |
一种晶棒滚磨前对中装置,其特征在于:包括下定位机构、卡紧晶棒的中间卡盘机构、上定位机构和立柱(4),其中,立柱(4)下端固定在下定位机构的一侧,上定位机构通过吸盘底座(20)与立柱(4)的上部固定连接,立柱(4)的中部滑动套设有滑套(10)和控制滑套(10)在立柱(4)上滑动的滑套刹车组件(36),中间卡盘机构通过卡盘固定板(16)与滑套(10)固定;所述下定位机构包括基板(1)、设置在基板(1)上的下顶锥套(5)和设置在下顶锥套(5)上的下定心顶锥(6);所述中间卡盘机构包括卡盘(11)、凸轮盘(12)和设置在凸轮盘(12)下部的卡爪(15),其中,中心位置具有对中通道(37)的卡盘(11)固定在凸轮盘(12)的中部,凸轮盘(12)的一侧固定在卡盘固定板(16)上,另一侧设置有卡盘手柄(40),通过转动卡盘手柄(40)实现收紧或放松卡爪(15);所述上定位机构包括吸盘轴杆(21)、吸盘气缸(25)、吸盘座(28)、吸盘导杆(30)、磁性盘(32)和永磁块(33),其中,吸盘气缸(25)和吸盘座(28)分别设置在吸盘底座(20)的上部和下部,吸盘轴杆(21)的上端与吸盘气缸(25)的活塞杆接头(23)连接,下端穿过吸盘底座(20)和吸盘座(28)上开设的通道后与上定心顶锥(14)连接,且上定心顶锥(14)的锥顶、对中通道(37)的中心线和下定心顶锥(6)的锥顶位于同一竖直线上;所述吸盘导杆(30)设置在吸盘座(28)的两侧,其下端穿过磁性盘(32)后与永磁块(33)固定连接;在吸盘导杆(30)上套设有拉伸弹簧(31),且拉伸弹簧(31)的上端固定在吸盘座(28)下表面上,下端与磁性盘(32)的边部固定;所述磁性盘(32)的中心位置设置有供定心对中块(38)穿过的通孔,以使定心对中块(38)穿过该通孔后其上的定心孔与上定心顶锥(14)的锥顶配合,并由永磁块(33)吸紧固定后与上定心顶锥(14)同步运动。 |
地址 |
471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号 |