一种带全闭环系统的自动变倍显微镜及影像测量仪

摘要

本实用新型旨在提供一种结构简单、能够自动调节放大倍数并无需进行校正的带全闭环系统的自动变倍显微镜及一种工作效率高、测量精度高且成本低的影像测量仪。本实用新型所述显微镜包括显微镜本体、倍数变化驱动装置、弧形光栅及光栅扫描装置，倍数变化驱动装置套设在显微镜本体的中部，弧形光栅设置在倍数变化驱动装置上并随着倍数变化驱动装置运动而运动，光栅扫描装置固定设置在显微镜本体的侧面；影像测量仪包括上述显微镜，还包括测量主机，测量主机内设置有影像测量系统，测量主机上的X轴移动装置、Y轴移动装置及Z轴升降装置内的光栅尺测量系统及光栅扫描装置均与影像测量系统相连接。本实用新型可应用于精密测量领域。

主权项

一种带全闭环系统的自动变倍显微镜，包括显微镜本体（1），其特征在于：所述显微镜还包括倍数变化驱动装置、弧形光栅（2）及光栅扫描装置（3），所述倍数变化驱动装置套设在所述显微镜本体（1）的中部，所述弧形光栅（2）设置在所述倍数变化驱动装置上并随着所述倍数变化驱动装置运动而运动，所述光栅扫描装置（3）固定设置在所述显微镜本体（1）的侧面，所述倍数变化驱动装置驱动所述显微镜本体（1）的放大倍数发生变化，所述弧形光栅（2）跟随所述倍数变化驱动装置运动，所述光栅扫描装置（3）获取所述弧形光栅（2）的位置，进而确定所述弧形光栅（2）的位置与所述显微镜本体的放大倍数的对应关系。