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发明名称 転写方法および転写装置
摘要
申请公布号 JP5826087(B2) 申请公布日期 2015.12.02
申请号 JP20120073813 申请日期 2012.03.28
申请人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 发明人 川越 理史;上野 博之;中嶋 美佳;増市 幹雄;谷口 和隆
分类号 G01B11/00;G03F9/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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