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发明名称 パターン転写装置
摘要
申请公布号 JP5826670(B2) 申请公布日期 2015.12.02
申请号 JP20120039804 申请日期 2012.02.27
申请人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 发明人 上野 博之;増市 幹雄;川越 理史;中嶋 美佳
分类号 B41F17/14;B29C59/02;B41F1/16;H01L21/027 主分类号 B41F17/14
代理机构 代理人
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