超薄硅薄膜钝化制备绝缘体上锗的方法

摘要

超薄硅薄膜钝化制备绝缘体上锗的方法，涉及一种GeOI的制备方法。1)将Ge片清洗，在Ge片上生长超薄硅钝化层，即得Si/Ge晶片；2)将Si片清洗，采用干氧氧化，在Si片上生长SiO₂层，即得SiO₂/Si晶片；3)将步骤1)得到的Si/Ge晶片和步骤2)得到的SiO₂/Si晶片清洗后，进行氧等离子体处理，超薄硅钝化层被氧化、活化，得到SiO₂/Ge，同时得到活化的SiO₂/Si晶片；4)将步骤3)处理后的SiO₂/Ge和SiO₂/Si晶片用氨水浸泡，吹干后贴合，再升温加压处理，得键合片；5)将步骤4)得到的键合片进行湿法腐蚀，将Ge层减薄后抛光，得到表面平整的绝缘体上锗。

主权项

超薄硅薄膜钝化制备绝缘体上锗的方法，其特征在于包括以下步骤：1)将Ge片清洗，在Ge片上生长超薄硅钝化层，即得Si/Ge晶片；2)将Si片清洗，采用干氧氧化，在Si片上生长SiO₂层，即得SiO₂/Si晶片；3)将步骤1)得到的Si/Ge晶片和步骤2)得到的SiO₂/Si晶片清洗后，进行氧等离子体处理，超薄硅钝化层被氧化、活化，得到SiO₂/Ge，同时得到活化的SiO₂/Si晶片；4)将步骤3)处理后的SiO₂/Ge和SiO₂/Si晶片用氨水浸泡，吹干后贴合，再升温加压处理，得键合片；5)将步骤4)得到的键合片进行湿法腐蚀，将Ge层减薄后抛光，得到表面平整的绝缘体上锗。