| 摘要 |
본 발명은, 자기 센서의 탑재 위치의 어긋남이나 착자의 변동이 생긴 경우, 또한 자기 센서에 의해 검출되는 자장이, 선형 운동 디바이스의 구동용 코일에 의한 자장의 간섭을 받는 경우에도, 선형 운동 디바이스의 정확한 위치 제어를 가능하게 한 선형 운동 디바이스의 제어 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 캘리브레이션 연산 회로(24)는 구동 코일에 의한 누설 자장의 자장 센서(21)에의 영향을 회피하기 위해, 검출 자장을 취득하기 직전에서 구동 코일에의 통전을 정지하는 시간을 갖고, 검출 위치 신호값(Vip)에 기초하여, 선형 운동 디바이스(31)의 홈 위치에 대응하는 제1 위치 신호값(NEGCAL)과, 풀 위치에 대응하는 제2 위치 신호값(POSCAL)으로부터 검출 위치 연산 신호값(VPROC)을 얻는다. 누설 자장 보정 회로(34)는 디바이스 위치 지령 신호 발생 회로(26)에 접속되고, 구동 코일(29)의 누설 자장에 의한 자장 센서의 검출 오차를 보정한다. |
