| 发明名称 | 脱除氯硅烷气体的金属杂质的装置及具有其的硅生产系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种脱除氯硅烷气体的金属杂质的装置及具有其的硅生产系统。该脱除氯硅烷气体的金属杂质的装置包括：筒体；冷却水夹套，冷却水夹套套设在筒体上，并形成环绕筒体的冷却通道；折流组件，折流组件可拆卸地安装在筒体的连通腔内，折流组件用于延缓氯硅烷气体在连通腔内流动。应用本实用新型的技术方案可以解决现有技术中氯硅烷气体中的金属杂质随着温度降低析出而造成堵塞设备和管道的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN204824190U | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201520561474.3 | 申请日期 | 2015.07.29 |
| 申请人 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 发明人 | 曾晓国;万烨;严大洲;杨永亮 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/107(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 赵囡囡;吴贵明 |
| 主权项 | 一种脱除氯硅烷气体的金属杂质的装置，其特征在于，包括：筒体(10)；冷却水夹套(20)，所述冷却水夹套(20)套设在所述筒体(10)上，并形成环绕所述筒体(10)的冷却通道；折流组件(30)，所述折流组件(30)可拆卸地安装在所述筒体(10)的连通腔内，所述折流组件(30)用于延缓氯硅烷气体在所述连通腔内流动。 | ||
| 地址 | 100038 北京市海淀区复兴路12号 | ||