一种硅抛光片表面颗粒检测仪片盒支撑台

摘要

一种硅抛光片表面颗粒检测仪片盒支撑台，在支撑台台面上设置有片盒发送台和片盒接收台，片盒发送台和片盒接收台分别由其下方设置的转动装置带动两者向相反的方向转动。本实用新型通过在片盒发送台和片盒接收台下方设置转动装置，实现两者的灵活转动，操作简便，实用性、安全性方面显著提升。使用该转动装置时，只需根据需要，按下相应的转动按钮，使对应的片盒发送台或片盒接收台转动到与操作者垂直的位置，此时机械臂处于锁死状态，不会进行任何机械动作，可有效防止误动作造成的硅抛光片损伤及人员伤害。

主权项

一种硅抛光片表面颗粒检测仪片盒支撑台，在支撑台台面（1）上设置有片盒发送台（2）和片盒接收台（3），其特征在于：所述片盒发送台（2）和片盒接收台（3）分别由其下方设置的转动装置（4）带动两者向相反的方向转动，所述转动装置（4）包括转动支撑轴（401）、从动杆（402）、主动杆（403）、减速器（404）和电机（405），其中，转动支撑轴（401）底端转动设置在支撑台台面（1）上，顶端固定在片盒发送台（2）或片盒接收台（3）底部，从动杆（402）的一端固定在转动支撑轴（401）上，另一端与主动杆（403）的一端铰接，且主动杆（403）由电机（405）通过减速器（404）带动其偏转，进而带动从动杆（402）和转动支撑轴（401）偏转。