| 发明名称 | 弹性波装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 提供一种配线电极等中不易发生迁移的弹性波装置及其制造方法。具备形成在压电基板(1)的上表面并构成包括IDT电极(3)在内的电极的第一电极膜(2)、以从压电基板(1)的上表面至第一电极膜(2)的上表面的一部分的方式形成的第二电极膜(6)，第二电极膜(6)构成包括配线电极(9)和焊盘电极(10a～10c)在内的电极，且由层叠多个金属膜而成的层叠金属膜构成，第二电极膜(6)的最下层(6a)由从AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及Cu组成的组中选择的一种金属构成，且第二电极膜(6)的最下层(6a)形成至第二电极膜(6)的侧面。 | ||
| 申请公布号 | CN103201866B | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201180053402.2 | 申请日期 | 2011.07.08 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 津田基嗣 |
| 分类号 | H01L41/047(2006.01)I;H01L41/27(2013.01)I;H03H9/05(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/047(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种弹性波装置，具备：压电基板；第一电极膜，其形成在所述压电基板的上表面，并构成包括IDT电极在内的电极；第二电极膜，其以从所述压电基板的上表面至第一电极膜的上表面的一部分的方式形成，所述第二电极膜构成包括配线电极和焊盘电极在内的电极，且由层叠多个金属膜而成的层叠金属膜构成，构成所述第二电极膜的层叠金属膜的最下层由从AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及Cu组成的组中选择的一种金属构成，且构成第二电极膜的层叠金属膜的最下层以覆盖该第二电极膜的除层叠金属膜的最下层之外的其他层叠金属膜的侧面的方式形成。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||